ISSN:
1618-2650
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
Description / Table of Contents:
Zusammenfassung In der Oberflächenanalyse liefern die Meßverfahren XPS, UPS, AES bzw. SAM, SIMS und ISS komplementäre Informationen über die Probe. Man sucht deshalb mehrere Methoden in einem Vakuumsystem zu kombinieren. Sogar gleichzeitige Untersuchungen mit SIMS-AES (bzw. SAM), SIMS-ISS oder SIMS-XPS sind möglich, wenn die Probenposition für die verschiedenen Methoden nicht verändert werden muß. Mit Multimethoden-Systemen lassen sich außerdem eventuelle Veränderungen der Probe durch ein Verfahren mit einer anderen zerstörungsarmen Methode, speziell XPS, nachweisen und quantitativ erfassen. Beispiele zeigen die Probenveränderung unter Elektronen- und Ionenbeschuß. Die Probenveränderung bleibt gering, die Messung wird als „statisch“ bezeichnet, wenn bei der Bestrahlung durch die anregenden Primärpartikel deren „kritische Dosis“ nicht überschritten wird. Bei Kenntnis der Ausbeute an nachzuweisenden Sekundärpartikeln je Primärteilchen, des Signal/Untergrund-Verhältnisses und der Transmission des Analysators läßt sich nach den Gesetzen der Statistik der kleinste statisch analysierbare Probenbereich berechnen, wenn die Nachweisgrenze oder die Meßgenauigkeit bei bekannter kritischer Primärteilchendosis vorgegeben wird. Entsprechende Formeln, die für alle aufgeführten Verfahren gültig sind, werden hergeleitet. Beispiele für AES werden aufgeführt.
Notes:
Summary In surface analysis XPS, UPS, AES resp. SAM, SIMS and ISS provide complementary information about the samples. A system combining different methods in one vacuum system therefore offers several advantages. Simultaneous SIMS-AES (resp. SAM), SIMS-ISS or SIMS-XPS analyses are possible in cases where the sample can remain in the same position for the paired methods. In multimethod systems a non-destructive method, particularly XPS, can be used to detect and quantitatively record possible changes in the composition of the sample caused by one of the other methods. The examples given show the decomposition of samples caused by electron and ion bombardement. The degree of sample decomposition is considered to be low and the measurement can be described as “static”, if the radiation by the primary particles does not exceed the “critical dose”. Knowing the yield of secondary particles to be analysed, the signal-to-background ratio and the transmission of the analyser, it is possible to calculate the smallest area that can be statically analysed by applying the rules of statistics, if the required detection limit or measuring accuracy is given for a known critical primary particle dose. Formulae, applicable to all methods, have been derived. Examples are given for AES and SAM, respectively.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF01226733
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