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  • 1
    Electronic Resource
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    Untersuchung von Hartstoffschichten aus der HF-Kathodenzerstäubung (1993)
    Weinheim : Wiley-Blackwell
    Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 24 (1993), S. 102-108 
    Details
    ISSN: 0933-5137
    Keywords: Chemistry ; Polymer and Materials Science
    Source: Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
    Topics: Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
    Description / Table of Contents: Investigation of hard coatings prepared by RF sputteringAn analysis system has been developed to control the composition of thin films in situ during growth. The analysis is based on the characteristic X-ray emission excited either by an electron beam or by X-ray radiation. As an example, the system has been tested on Ti1-xNx films prepared by reactive sputtering.The structure of hard layers is examined by X-ray diffraction after the preparation. Grazing incidence is employed which means enhanced sensitivity for radiation from the surface. The size of microcrystallites and the microstrain as well as intrinsic macrostrains are examined. For several layer systems the influence of preparation parameters such as nitrogen flow and biasvoltage is demonstrated.
    Notes: Bei der Herstellung von Hartstoffschichten durch reaktives Zerstäuben ist es sinnvoll, die Zusammensetzung der Schicht bereits in-situ während des Aufwachsens zu kontrollieren. Dieses Ziel wurde durch einen experimentellen Aufbau erreicht, bei dem die Analyse mit Hilfe der charakteristischen Röntgenstrahlung erfolgt, die wahlweise durch Elektronen- oder Röntgenanregung der Schicht ausgelöst werden kann. Das System wurde am Beispiel von Ti1-xNx-Schichten erprobt, bei deren Herstellung die Zerstäubungsparameter systematisch verändert wurden.Die Struktur von Hartstoffschichten wird durch Röntgenbeugung nach der Herstellung untersucht; die Besonderheit des hier angewandten Verfahrens ist, daß durch streifenden Einfall die Oberfläche empfindlich vermessen werden kann. Es können Aussagen über die Mikrokristallitgröße und die Mikrodehnung der Schicht, aber auch über den Eigenspannungszustand gemacht werden. An diversen Hartstoffschichten wird der Einfluß der Herstellungsparameter Stickstoffdurchfluß und Vorspannung auf die Schichtstruktur gezeigt.
    Additional Material: 9 Ill.
    Type of Medium: Electronic Resource
    URL: http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19930240308
    Location Call Number Expected Availability
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    Paper (German National Licenses)
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  • 2
    Electronic Resource
    Electronic Resource
    Gitterkonstantenbestimmung in kubischen dünnen Schichten unter thermischer Dehnung (1995)
    Weinheim : Wiley-Blackwell
    Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 26 (1995), S. 386-393 
    Details
    ISSN: 0933-5137
    Keywords: Chemistry ; Polymer and Materials Science
    Source: Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
    Topics: Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
    Description / Table of Contents: Lattice Constant Determination in Cubic Thin Films under Thermal StrainAn X-ray diffraction procedure is presented to determine the lattice constant of a cubic thin film which is thermally strained. The procedure also gives the thermal strain. As application examples, the lattice constants of thin aluminium and copper films deposited by ion-platting are evaluated from grazing incidence diffraction data.
    Notes: Ein Verfahren zur röntgenographischen Bestimmung der Gitterkonstanten einer kubischen dünnen Schicht, die herstellungsbedingt unter thermischer Dehnung steht, wird angegeben. Das Verfahren liefert zudem die wirksame-thermische Dehnung. Als Anwendungsbeispiele werden die Gitterkonstanten von ionenplattierten Aluminium- und Kupferschichten aus röntgenographischen Messungen mittels eines Seemann-Bohlin Diffraktometers mit streifendem Strahleinfall ermittelt.
    Additional Material: 11 Ill.
    Type of Medium: Electronic Resource
    URL: http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19950260712
    Location Call Number Expected Availability
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    Paper (German National Licenses)
    Fulltext
  • 3
    Electronic Resource
    Electronic Resource
    Determination of Stress Tensors in thin textured copper films by grazing incidence diffraction (1995)
    Weinheim : Wiley-Blackwell
    Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 26 (1995), S. 553-559 
    Details
    ISSN: 0933-5137
    Keywords: Chemistry ; Polymer and Materials Science
    Source: Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
    Topics: Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
    Description / Table of Contents: Bestimmung der Spannungstensoren in dünnen, texturierten Kupferschichten mittels Röntgenbeugung bei streifendem EinfallIonenplattierte Kupferschichten wurden mittels Röntgenbeugung hinsichtlich Texturen und Eigenspannungen untersucht. Die vollständigen Orientierungsverteilungsfunktionen wurden bestimmt und scharfe (111)-Fasertexturen gefunden. Die Messung der Dehnungen erfolgte unter streifendem Strahleinfall. Zur Berechnung der Spannungstensoren wurden sowohl texturgewichtete elastische Moduln als auch texturunabhängige elastische Moduln verwendet. Die Bedeutung der Texturmessung für die Spannungstensorbestimmung wird diskutiert. Die gefundenen Spannungen können als thermisch verursacht verstanden werden.
    Notes: Ion-platted thin copper films were examined for residual stresses and texture by X-ray diffraction. The complete orientation distribution functions were determined and sharp (111)-fibre textures were found. The strains were measured by grazing incidence diffraction. The stress tensors were calculated using both texture-weighted elastic compliances and texture-independent X-ray elastic constants. The importance of the texture measurement for the stress tensor determination is discussed. The found stresses can be interpreted as thermally induced.
    Additional Material: 5 Ill.
    Type of Medium: Electronic Resource
    URL: http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19950261012
    Location Call Number Expected Availability
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    Paper (German National Licenses)
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