ISSN:
0933-5137
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
Description / Table of Contents:
Internal Stresses, Adhesion and Wear Behaviour of Sputtered Amorphous Alumina CoatingsThin alumina coatings have been pruduced by means of reaktive r.f. magnetron sputtering. The layers, deposited onto metallic substrates, show an amorphous crystallographic structure which may be due to the low deposition temperatures below about 250°C.Measurement of internal stresses was performed by using the bending beam method. The experiments show that there is not only a dependence on the film thickness but even pressure and sputtering power have a strong influence on internal stresses of the alumina coatings. Some correlations between internal stress and adhesion of the coatings are evident.Besides scratch-test measurements the size of layer-detachment of bending-specimen gave information about the adhesion behaviour of the coatings. The results of both methods have been in good agreement.Some of the alumina coatings have been tested with regard to their tribological behaviour by means of a model testing apparatus. The coatings show excellent wear behaviour even under severe tribological conditions.
Notes:
Mit Hilfe des reaktiven Hochfrequenz-Magnetronkathodenzerstäubungsverfahrens wurden dünne Aluminiumoxidschichten auf Stahlsubstraten abgeschieden. Aufgrund der relativ niedrigen Substrattemperaturen (〈 etwa 250°C) zeigen die Schichten eine amorphe Röntgenstruktur.Messungen der Schichteigenspannungen, die mittels der Biegestreifenmethode durchgeführt wurden, zeigten, daß sowohl von der Schichtdicke als auch von Beschichtungsdruck und -leistung starke Einflüsse auf den Eigenspannungszustand ausgehen.Darüberhinaus konnten Abhängigkeiten zwischen Schichthaftungsverhalten und den inneren Spannungen der Schichten nachgewiesen werden.Neben dem Ritztestversuch diente das Ablöseverhalten der Schichten im Kerbschlagbiegeversuch als Haftungskriterium. Die Ergebnisse beider Verfahren befinden sich in guter Übereinstimmung.Einige der Schichten wurden ersten Verschleißuntersuchungen unterworfen. Die Schichten zeigten unter den gewählten Modellverschleißbedingungen ein gutes Verschleißverhalten.
Additional Material:
11 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19870181107
