ISSN:
0003-3146
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
Die wasserlöslichen aromatischen Diazonium-Doppelsalze p-Diazodiphenylaminchlorid/Zinkchlorid (DZS-1) und p-Diazoanisolchlorid/Zinkchlorid (DZS-2) wurden auf ihre Verwendbarkeit als photobleichbare Farbstoffe in der Kontrastverstärkungslithographie untersucht. Nach Untersuchung der Bleicheigenschaften der hergestellten Salze wurde DZS-1 in wäßrigen Lösungen mit Poly(vinylalkohol) als Kontrastverstärkungssystem eingesetzt. Die thermische Stabilität, der Resistkontrast, die Bestrahlungsparameter und andere Bleicheigenschaften wurden untersucht. Im Vergleich zu einem handelsüblichen i-Linien-Photoresist beträgt das Kontrastverhältnis der DZS-1/PVA CEL-Schicht 1,67.
Notes:
Water soluble aromatic diazonium double salts, p-diazodiphenylamine chloride zinc chloride (DZS-1) and p-diazoanisol chloride zinc chloride (DZS-2), have been evaluated as photobleachable dyes for contrast enhancement lithography. After testing the bleaching characteristics, aqueous solutions of DZS-1 and poly(vinyl alcohol) were used as a contrast enhancement material. Thermal stability, resist contrast, exposure parameters and other bleaching characteristics of the photobleachable membranes were investigated. A. commercial i-line photoresist was used to evaluate the contrast ratio of the DZS-1/PVA CEL layer. The contrast ratio obtained in this investigation is 1.67.
Additional Material:
10 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/apmc.1995.052240114
