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über den Bau und die Bemessung von Polschuhlinsen für hochauflösende Elektronenmikroskope

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Zusammenfassung

Für die Vergrößerung eines Mikroskops ist die Brennweite der Linsen, die Zahl der Abbildungsstufen und die Gerätelänge wesentlich. Die in einem Mikroskop erzielbare Vergrößerung sollte wenigstens annähernd die durch das Auflösungsvermögen des Mikroskops bestimmte förderliche Vergrößerung erreichen. Hochauflösende Elektronenmikroskope verlangen daher in einem großen Bereich der Elektronengeschwindigkeit Linsen kleinster Brennweite. Sowohl aus diesem Grunde wie wegen der größeren Fehlerkonstanten elektrischer Linsen kommen für Elektronenmikroskope von höchstem Auflösungsvermögen bisher nur magnetische Linsen in Frage, die als Polschuhlinsen in verschiedener Weise aufgebaut sein können.

Es werden Meßreihen über die Abhängigkeit der Brechkraft von magnetischen Polschuhlinsen von der geometrischen Form der Polschuhsysteme und der Elektronengeschwindigkeit sowie der Spulendurchflutung wiedergegeben und zusammenfassend ausgewertet. An Hand dieser Schaubilder ist jetzt eine Dimensionierung von Objektiven und Projektiven (Geometrie, Spulendurchflutung) je nach den beim Mikroskopbau vorliegenden Bedingungen (Elektronengeschwindigkeit, Gerätelänge, Vergrößerung) möglich. Es werden einige Erfahrungen über den mechanischen Aufbau solcher Systeme mitgeteilt. Einige Angaben in neueren Arbeiten und daraus gezogene Schlüsse, die zum Teil mit früheren experimentellen Ergebnissen des Verfassers in Widerspruch stehen, werden als nicht haltbar nachgewiesen; ebenso erscheinen einige für besonders gut angesehene neuere Anordnungen oder Meßverfahren als wenig geeignet bzw. als fehlerhaft. Der Vergleich der experimentellen Werte mit den für das Feld

Glaser berechneten Daten zeigt gute qualitative und quantitative übereinstimmung. Die praktisch erreichbaren Werte liegen merklich günstiger als die berechneten, da die empirischen Magnetfelder einen beträchtlich steileren Verlauf zeigen als die die Berechnung der Brechkräfte zulassende angepaßte Feldfunktion.

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Schrifttum

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Der Fakultät für allgemeine Wissenschaften der Technischen Hochschule Berlin als Habilitationsschrift eingereicht.

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Ruska, E. über den Bau und die Bemessung von Polschuhlinsen für hochauflösende Elektronenmikroskope. Archiv f. Elektrotechnik 38, 102–130 (1944). https://doi.org/10.1007/BF02092675

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