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Auflösungsbegrenzung im Elektronenmikroskop durch Objektänderung

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Zeitschrift für Physik

Zusammenfassung

Neuere experimentelle Untersuchungen zeigen, daß Objekte, die mit Elektronen bestrahlt werden, dosisbedingten Veränderungen unterworfen sind. Andererseits geht aus statistischen Betrachtungen hervor, daß auch das Auflösungsvermögen bzw. die Meßgenauigkeit dosisbedingt sind. Daraus folgt ein objektbedingtes Auflösungsvermögen.

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Vorgetragen auf der Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft in Bonn am 21. September 1949.

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Boersch, H. Auflösungsbegrenzung im Elektronenmikroskop durch Objektänderung. Z. Physik 127, 391–399 (1950). https://doi.org/10.1007/BF01329836

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