Digitale Medien
Amsterdam
:
Elsevier
Microelectronic Engineering
8 (1988), S. 93-103
ISSN:
0167-9317
Schlagwort(e):
Electron lithography
;
hybrid lithography
;
integrated circuits
;
optical lithography
;
pattern distortion
Quelle:
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002
Thema:
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
Materialart:
Digitale Medien
URL:
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/0167-9317(88)90009-3
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