ISSN:
1618-2650
Keywords:
Best. von Gasen, Sauerstoff in Metallen, Kupfer, Silicium
;
Massenspektrometrie
;
Funkenanregung, Kryopumpe
Source:
Springer Online Journal Archives 1860-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
Description / Table of Contents:
Zusammenfassung Es wird über die Verbesserung des Nachweises von Sauerstoff in Metallen mit Hilfe der Funken-Massenspektrometrie berichtet. Die Parameter, die die Nachweisgrenze dieser Methode für Gase bestimmen, werden diskutiert. Durch Verwendung einer Heliumkryopumpe im Ionenquellenbereich ist es möglich, Sauerstoff in Metallen bis 1 ppm sicher nachzuweisen. Am Beispiel von Sauerstoff in Kupfer und Silicium wird dies experimentell gezeigt. Die Unabhängigkeit von der Matrix und die Möglichkeit der gleichzeitigen Bestimmung fast aller Verunreinigungen sind charakteristische Eigenschaften dieser Methode.
Notes:
Abstract This report deals with the improvement of the detection of oxygen in metals by spark source mass spectrometry. The parameters determining the detection limit for gases are discussed. Through the application of a helium cryopump it is possible to detect oxygen in metals safely down to 1 ppm. The examples of oxygen in copper and silicon demonstrate this experimentally. The independence from the matrix elements and the possibility of the simultaneous determination of almost all impurities are characteristic properties of this method.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1007/BF00429959
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