ISSN:
0933-5137
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
Description / Table of Contents:
Deposition of hard coatings type (B,C,N) at low coating temperatures by PACVDIn this study the deposition of (B,C,N) layers by means of low temperature (250°C) pulsed DC plasma assisted CVD process was investigated using a metallo-organic compound as precursor being synthesized in a new way. It is shown that the deposition of (B,C,N) layers is possible with high hardness and adhesion in the investigated parameter range.
Notes:
In dieser Studie wurde die Abscheidung von (B,C,N)-Schichten unter Verwendung der auf einem, neuen Syntheseweg dargestellten metallorganischen Verbindung C8H18BN im DC-Puls-PACVD-Prozeß bei niedrigen Beschichtungstermperaturen (250°C) unter-sucht. Es konnte gezeigt werden, daß doe Herstellung von (B,C,N)-Schichten mit guter Härte und Haftfestigkeit im betrachteten Parameterraum möglich ist.
Additional Material:
6 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19940251107
Permalink