Publication Date:
2024-04-09
Description:
Zwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre Möglichkeiten und Limitationen diskutiert: ein Dünnschicht-Laserscanner und ein Dünnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm³ von sehr geringer Baugröße. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren möglich ist.
Keywords:
T1-995
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Minispektrometer
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Mikrolinsen
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Dünnschichten
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Strahlablenkung
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Laserscanner
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thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Language:
German
Format:
image/jpeg
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