ISSN:
0933-5137
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
Notes:
An einer zehnlagigen Titannitrid-Titanborid-Schicht auf WC-Co-Substrat wurde die Durchmischungsbreite Δz nach verschiedenen Meßmethoden bestimmt. Mit Linescans am 10°-Schrägschliff lassen sich unter den angewandten Meß-bedingungen Δz = minimal 30 nm nachweisen. Die visuelle Bestimmung von Δz über SE-bilder am Schrägschliff ist nicht sinnvoll. Bei Anwendung der Tiefenprofilanalyse durch sukzessiven Abtrag mit Ar-Ionen wurden Δz von wenigen nm nachgewiesen. Dies ist jedoch nur bei Schichtdicken von wenigen nm möglich, bei der Zehnlagenschicht mit 0,7 pm dicken Einzelschichten wird Δz wesentlich durch den Abtrag mit Argonionen beeinfluljt.Die AES-Quantifizierung erfolgte empirisch mit Standards. In der Zehnlagenschicht bestehen die Titannitrid-Schichten aus stöchiometrischen TiN1.0, während die Titanborid-Schichten eine Stöchiometrie von TiB2.6bis2.9 aufweisen. Die AES-Quantifizierung wurde mit konventionellen Analysenmethoden an Modellschichten überpruft.
Additional Material:
2 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19900210310
Permalink