ISSN:
0933-5137
Keywords:
Chemistry
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Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Mechanical Engineering, Materials Science, Production Engineering, Mining and Metallurgy, Traffic Engineering, Precision Mechanics
Description / Table of Contents:
Coating with PVD-TechniquesThis paper deals with the physical vapor deposition processes reviewed by the literature: the coatings, the influence of different parameters on the properties of these coatings, the deposition rates.
Notes:
Anhand der Literatur wird aufgezeigt, wie die verschiedenen PVD-Verfahren (Aufdampfen, Sputtern, Ionenplattieren) ablaufen, welche Schichten erzeugt werden können, wodurch die Schichteigenschaften beeinflußt werden können und wie hoch die Beschichtungsraten sind.
Additional Material:
8 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/mawe.19780090807
Permalink