ISSN:
0003-3146
Keywords:
Chemistry
;
Polymer and Materials Science
Source:
Wiley InterScience Backfile Collection 1832-2000
Topics:
Chemistry and Pharmacology
,
Physics
Description / Table of Contents:
Zu den strahlenchemisch initiierten Strukturänderungen von PMMA zählen vor allem eine deutliche Abnahme der Molmasse und die Abspaltung einzelner Esterseitengruppen. Durch die Untersuchungen dieser Arbeit wird deutlich, daß dem selektiven Herauslösen der bestrahlten Bereiche eine chemische Reaktion mit dem Lösemittel vorgelagert ist, deren Reaktionsprodukte im Unterschied zum unbestrahlten PMMA gut im Entwickler löslich sind. Diese Reaktion läuft wegen des Reaktionsmechanismus' und des sterischen Aufbaus von PMMA gezielt im bestrahlten Material ab, womit sich die Selektivität des Entwicklers erklären läßt. Es läßt sich die Erkenntnis ableiten, daß die Verwendung von isotaktischem PMMA als Resist zu einer Verbesserung der Selektivität des Entwicklers führt. Weiterhin kann aus der Kenntnis des Ablaufs der chemischen Reaktion die Zusammensetzung des Entwicklers gezielt optimiert werden.
Notes:
The structural changes in poly(methyl methacrylate) (PMMA) caused by radiochemical reactions are predominantly governed by a decrease in molar mass and a splitting of side chains. It can be shown that the removal of the irradiated parts of PMMA is not a pure physical dissolving, but that there is a chemical reaction proceeding, the products of which are well soluble in polar solvents. This special type of reaction restricts this process on the irradiated areas and hence explains the high selectivity of the developing of the lithographic structures. Knowledge of these mechanisms leads to the prediction that isotactic PMMA shows an increased selectivity of the developing agent. Further improvements and optimizations of etching and developing are therefore possible.
Additional Material:
4 Ill.
Type of Medium:
Electronic Resource
URL:
http://dx.doi.org/10.1002/apmc.1996.052390109
Permalink
